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金屬基MEMS慣性開關以及超細圓柱纖維表面3D微加工技術

日期:2021-06-03 作者: 點擊次數:

報告摘要:

MEMS慣性開關作為一種“近零功耗”的傳感器件,在物聯網(IoT)節點振動監測中有著廣泛的應用,當受到超過其閾值水平的振動沖擊時,該器件能夠實現瞬間機械閉合,輸出接通脈沖信號,從而使外電路瞬間導通,以此完成對后續系統的控制。本報告將詳細介紹一種基于非硅表面微加工技術的金屬基MEMS慣性開關器件,包括其具體的研發歷程和實際應用情況。此外,報告還將介紹一種可實現超細圓管/圓柱/毛細管等表面3D微加工的集成制造新技術,該技術基于紫外投影光刻,并利用研制的多自由度旋轉曝光設備,可實現在百微米以下的超細柔性或剛性圓柱基表面上MEMS器件的三維集成制造,該方法將為各類超細介入/植入式柔性生物醫用MEMS器件的集成制造開辟一種全新的技術途徑。

 

報告人簡介:

楊卓青,教授、博士生導師,上海交通大學微米/納米加工技術國家級重點實驗室研究員。于2003年和2005年在哈爾濱工程大學機電工程學院獲得學士與碩士學位,2010年獲得上海交通大學微電子學與固體電子學博士學位,2011-2013年期間,在日本國立產業技術綜合研究所(AIST)任JSPS博士后特別研究員。目前任職于上海交通大學電子信息與電氣工程學院微納電子學系,長期致力于MEMS慣性開關、柔性纖維/圓管/毛細管等表面的三維MEMS集成制造、PowerMEMS等相關研究,擁有20多項中國發明專利和1項日本專利,在IEEE JMEMS、IEEE TED、Adv Energy Mater、Nano Energy、Lab Chip等國際期刊上發表論文100多篇,并受邀擔任多個國際學術會議的TPC成員和分會主席,目前為Micro and Nanosystems、Nanomanufacturing、《功能材料與器件學報》等多個學術期刊編委。此外,曾獲得2016上海市技術發明一等獎2019工信部國防科技進步三等獎,并于2014年入選上海市浦江人才計劃,目前為中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會理事、中國微米納米技術學會高級會員、中科院深圳先進技術研究院客座研究員,以及IEEE高級會員。

報告時間:2021年5月7日15:00

報告地點:科研樓402



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